tzxnef就是用getter。在一定温度下，吸气剂可以吸收氮气、氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体。经吸收处理后，氩气纯度可达6.9%。这种保护气体更适合制作高纯度半导体单晶硅。
通过吸气剂净化的氩气纯度:
氧气≤0.2ppm
H2≤0.5ppm
N2≤1ppm
一氧化碳+二氧化碳≤0.5ppm
CH4≤0.5ppm
水分≤1ppm
一种方法设备投资少，脱氧剂在设备中的使用寿命一般在四年以上。
如有氩气泄漏的危险，应迅速撤离泄漏污染区，戴上呼吸器或防冻护具，如有可能，将泄漏气瓶移至开阔安全的地方。
四川工业氩气虽然是惰性气体，但也需要储存在气瓶柜中。因为容易爆炸的是气瓶，气瓶内的压力和过大或超压都容易引起爆炸。如果存放在气瓶柜中，并配有各种系统，对氩气瓶的爆炸预警还是会起到一定的作用。因此，从安全角度考虑，氩气必须放在气瓶柜内。
氩气泄漏的处理措施。
迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。